(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利说明书(10)申请公布号CN102346026A(43)申请公布日2012-02-08(21)申请号CN5.7(22)申请日2011-08-01(71)申请人株式会社三丰地址日本神奈川县(72)发明人小野宪次河原井一晃大坪圣一水上一己(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277;北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人(51)Int.CIG01B21/00(2006.01)权利要求说明书说明书(54)发明名称工业用机械(57)摘要本发明提供一种工业用机械，该工业用机械是三维测量机(1)，其包括：沿着Z轴的立柱(221)以及支柱(225)；滑动件(223)，其能够在被设在该立柱与支柱之间的梁(222)上移动；杆件(224)，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在滑动件上；温度检测传感器(226)以及温度检测部(32)，该温度检测传感器以及温度检测部用于对立柱(221)、支柱(225)、杆件(224)的各自的温度进行检测；偏移量算出部(33)，其根据上述的立柱(221)、支柱、杆件的各自的温度、表示上述的立柱、支柱、杆件的在基准温度条件下的位置关系的基准位置数据、上述的立柱、支柱、杆件的各自的热膨胀系数算出上述Z轴偏移量。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2012-02-08公开公开2012-02-08公开公开【工业用机械】技术领域本发明涉及具有能够沿着与台面正交的Z轴方向移动杆件的机构的工业用机械。背景技术以往，公知一种工业用机械，其使被保持在与台面正交的方向的杆件沿着Z轴方向移动(例如，参照专利文献1：日本特开2001-21303号公报)。在该文献1中记载的工业用机械为三维测量机。该三维测量机包括：与台面正交且能够沿着Y轴方向移动的立柱以及支柱、设在上述的立柱以及支柱的端部之间的梁、能够在梁上沿着X方向移动的滑动件、能够沿着Z轴方向移动地设在滑动件上且在顶端设有探头的杆件(ram)。该三维测量机沿着XYZ分别配置有标尺，设定有以该标尺的读取值为基准的测量坐标系。并且，在该三维测量机中，在监视温度环境并观测到温度变化时重构测量坐标系。另外，在上述文中，即使在标尺由于热膨胀而发生尺寸变化时也能够实施高精度的测量。然而，未对标尺之外的构成构件、即例如立柱、支柱、杆件在发生热膨胀的情况进行应对，在此情况下，特别是存在Z轴方向上的测量精度下降这种问题，存在需要准确地控制测量环境这种问题。例如，使三维测量机的电源成为ON(连通)状态之后，使用探头对表示测量坐标系的原点位置的标准球(masterball)进行连续测量时，用于驱动测量触头的驱动电动机的温度上升，由此，立柱、支柱、杆件的由热膨胀引起的尺寸变化量各不相同，因此，相对于刚使电源ON之后的开始时，主要是Z值发生偏移，从而Z轴测量精度下降。为了防止这样的Z轴测量精度的下降，期望一种能够准确地算出杆件的由热膨胀引起的Z偏移量的工业用机械。发明内容鉴于上述那样的问题，本发明的目的在于提供一种能够高精度地算出杆件的由热膨胀引起的Z轴偏移量的工业用机械。本发明的工业用机械包括：立柱以及支柱，该立柱以及支柱被沿着与台面正交的Z轴竖立设置；滑动件，其能够在被设在上述的立柱以及支柱之间的梁上移动；杆件，其能够沿着Z轴方向移动地被保持在上述滑动件上；温度检测部件，其用于对上述立柱、上述支柱、上述杆件的各自的温度进行检测；偏移量算出部件，其根据上述立柱、上述支柱、上述杆件的温度变化算出上述杆件的沿着Z轴方向的Z轴偏移量，该工业用机械的特征在于，上述偏移量算出部件根据上述立柱、上述支柱、上述杆件的被上述温度检测部件检测到的各自的温度、基准位置数据、校正系数算出上述Z轴偏移量，该基准位置数据表示上述立柱、上述支柱、上述杆件的在将上述立柱、上述支......完整内容请下载后查看